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- 超音波加工
超音波加工とは
超音波加工では、まず工具と工作物との間に砥粒を介在させます。そこで工具を超音波振動させることで工作物に圧を加え、砥粒で工作物を少しずつ破砕していきます。
振動周波数は16kHz（16,000～25,000回/秒）で、振幅振動は30ミクロン以上。シリコンカーバイトやボロンカーバイトなどの砥粒を注ぎながら加圧をしていきます。衝撃を受けた砥粒粒子は工作物を少しずつ砕いていきますが、1回の衝撃で破砕する量はごくわずか。工程を繰り返し行うことで必要量を破砕していきます。
小径孔あけ加工において複数同時加工ができるので、通常の切削加工による孔あけ加工よりも、短時間かつ多数の孔あけが可能です。それに伴い、加工時間が短縮されコストも安く抑えられます。
- 加工できる材料
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ガラス・石英硝子・シリコン・カーボン・フェライト・グラファイト・アルミナ・窒化ケイ素・炭化ケイ素・窒化ホウ素・ジルコニア・ルビー・サファイア・ダイアモンドなどといった高脆材料を加工することができます。
- 加工内容
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様々な形状の孔あけ・ザグリ・打ち抜き・切断・溝加工・成型加工・彫刻・研磨など。
- 複数同時加工
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上下振動により加工するので、複数個のものを同時に加工することが可能です。
具体例：アルミナ基板50口（0.5φ～2.0φ）への孔数100個の同時加工など
- なめらかな加工
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欠け・バリ・クラックなどの発生が少なく、砥粒加工独特の平らでなめらかな加工面を作ることができます。また、加工による変質層や加工歪も少なく済みます。
